洁净室检测

洁净室检测

ATS为广大生产企业提供专业的洁净室检测服务。

洁净室简介

洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。

“洁净室”是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

洁净室最主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为“洁净室”。

检测项目

类别	检测项目
洁净室综合性能	悬浮粒子数
	浮游菌
	沉降菌
	温度
	相对湿度
	换气次数
	风量和风速
	静压差
	照度
	噪声级
	高效过滤器检漏
	自净时间
	污染泄漏
灭菌器性能验证	温度分布与控制	空载热分布试验
		装载热分布试验
		热穿透试验
	灭菌温度与时间
	灭菌效果	生物挑战性试验

相关方法标准

洁净室综合性能检测方法

无尘室洁净度参照标准

洁净室施工及验收规范